使用工业设备自动化控制技术，实现了晶圆的高效搬运和精确控制，提高了生产效率和产品质量。

全自动膜厚测量系统集自动化设备的控制、膜厚测试、运行状态的监控为一体的自动软体。

任务管理：展示任务信息、任务详情、晶圆的统计数据以及测试结果。
创建任务：设置搬运控制、Cassette扫片以及确认数据。
自动化控制模块：定义机械臂动作指令，下发指令，实现动作的自动化控制。定义坐标，下发坐标，实现XY平台的运动控制。
Cassette扫片：控制机器人对Cassette盒进行扫片，确认晶圆位置及数量。
搬运模版：创建模板名、设置晶圆尺寸、坐标、Port（同进同出、异常分类）等。
坐标管理：展示坐标信息，模版的创建、编辑、导入、导出等。